电子行业的发展迅速,电子半导体行业对生产用水要求十分严格,因此半导体纯水系统在电子半导体行业生产过程中起到重要的作用,为了保证生产出超大规模的集成电路,除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外,超纯水也是其中关键的因素之一。今天,小编就给大家介绍下半导体纯水系统在半导体行业中的应用吧。
半导体纯水系统水质标准:
半导体纯水系统出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。
超纯水在电子半导体行业中的作用:
半导体纯水系统通常由多介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人值守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使该设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。
电子半导体行业用半导体纯水系统的优势:
半导体纯水系统其能够连续稳定的制备品质优良的超纯水,不会因为树脂再生而停止运行,设备结构设计相对靠紧,所以其占地面积小,可以为企业节省很多空间,超纯水设备在出厂前均需进行装置调试,所以设备故障几率较小,日常保养、维修等操作都十分简单。
电子半导体集成电路的集成度越高,对水质要求越高,这也对半导体纯水系统的处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。