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超纯水技术满足半导体行业绿色环保的发展理念

  日期:2022-02-21 12:59:27  浏览量:94   移动端
导读:在全球“缺芯”的背景下,中国半导体产业正处在发展较为迅速的一个时期。半导体材料是指室温下绝缘体与导体之间的导电材料,包括

在全球“缺芯”的背景下,中国半导体产业正处在发展较为迅速的一个时期。半导体材料是指室温下绝缘体与导体之间的导电材料,包括半导体制造材料和半导体密封试验材料。半导体制造材料包括衬底材料(主要是硅片)、电子气体、光掩模、抛光液、光刻胶和辅助化学品、高纯度靶材等。


纯水是半导体生产的必要元素,传统的纯水制备方法主要包括蒸馏法和离子交换法。蒸馏设备要求严格,产量低,能耗高。离子交换树脂再生失效需要大量的酸碱溶液和大量的清洗水,劳动强度高。早期医药、化工、发电等行业对纯水水质的要求不是很高,但随着半导体行业的快速发展,对纯水水质的要求越来越高。



传统方法不适合单独生产高纯度超纯水。20世纪60年代以来,随着膜技术的发展,出现了微滤、超滤、反渗透、电渗透等新型水处理技术。目前,RO+混合床系统已取代传统的离子交换系统,但反渗透对原水中溶解气体和一些弱电解质的去除效果较差。混合床再生会消耗酸碱溶液,产生一定量的废水。


莱特莱德超纯水设备采用水处理技术,保证设备的出水稳定。设备内部安装有反渗透预脱盐技术,从根本上确保了设备的出水质量。同时,EDI处理装置废水产量少,不会污染环境。超纯水设备系统特点,主要采用了新的EDI技术,减少了污染,符合绿色环保的工艺生产的特点,生产技术克服了很多的缺点,已经得到了大力的推广和应用。

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