测量显微镜是光学计量仪器之一种,是指配有瞄准显微镜和坐标工作台的用于二维坐标尺寸测量的光学计量仪器。测量显微镜采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试,是一种理想的多用途的小型精密测量仪器。
测量显微镜的功能
1、直角坐标中测定长度。
2、旋转度盘测定角度。
3、用作观察显微镜。
4、利用测量显微镜微动载物台的移动,配全目镜的十字座标线,作长度量测。
5、利用旋转载物台与目镜下端之游标微分角度盘,配全合目镜之址字座标线,作角度量测,令待测角一端对准十字线与之重合,然再让另一端也重合。
6、利用标准检测螺纹的节距、节径、外径、牙角及牙形等尺寸或外形。
7、检验金相表面的晶粒状况。
8、检验工件加工表面的情况。
9、检测微小工件的尺寸或轮廓是否与标准片相符。
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测量显微镜的使用方法
测量显微镜的安装使用:
1、测量显微镜安装和使用:
应对周围环境的安全性进行检查,电源、电压、LED光源、接地线等是否正确、牢固,应符和要求。
2、测量显微镜主要部件运动性能检查:
测量显微镜工作台、纵、横滑板导轨、测微器、显微镜臂架导轨升降,测角度盘转动等部件,经目力观察和手动试验,必须确认结构安装可靠,位置准确,运转性能应舒适完好,无松动阻滞和急跳现象存在。
3、测角目镜的检查:
①测量显微镜测角目镜零位的检查;
②测量显微镜测角目镜十字线交点与其迥转ZX重合性的检查。
测量显微镜的操作方法:
1、将被测试样放在测量工作台上,尽量放在玻璃ZX位置。
2、转动测量显微镜调焦手轮,至视线清晰为止,用目视判断Z薄点,旋转测量工作台并依靠纵横向的调节,把Z薄点方向原始基准调至与十字线相重合,记录测试标志线所对应的刻度值X1。
3、调节横向手柄,测量工作台沿X线轴向移动,记录另一侧的读数X2,X1 与X2之差即为测量值。
4、旋转测量工作台,依次测出各点读数。
5、测量直径时,可用移动X、Y轴方向分别读取数值。
测量显微镜的注意事项
1、测量显微镜的使用、维护是技术性较强的工作,对操作人员应进行专业技能培训,掌握必要的操作技能和建立必要的工作检查制度。
2、对测量显微镜要注意正确合理安排使用。仪器的存放地点应避免灰尘、潮湿、气温突变或含有酸碱性的气体环境。
3、测量显微镜的光学部件有:目镜、物镜、玻璃工作台等,光学零件的表面油污灰尘清洁,可用脱脂棉花蘸以少许酒精和乙 醚混合液,轻轻揩拭,切勿将镜片擦毛。
4、测量显微镜维护、保养、调试,未经技术培训不具备专业技能的人员不要随意拆卸调试和清洗加油。
5、电源系统出现故障,需先切断电源,再进行检查。透射照明灯泡需要更换灯泡,拆除底盖,进行检查更换。
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测量显微镜的分类
光学测量显微镜:
光学测量显微镜应用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试。广泛地应用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。
光学测量显微镜主要优点:工作台除作X、Y坐标的移动外,还可以作360°的旋转,也可以进行高度方向做Z坐标的测量;采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。光学测量显微镜可连接CCD电视摄像头,作工件的轮廓放大;亦可连接计算机进行数据处理等测量。是一种理想的固定场所小型精密测量仪器。
数码测量显微镜:
数码测量显微镜是近年来比较流行的一种将将显微镜看到的实物图像通过数模转换,使其成像在显微镜自带的屏幕上或计算机上的显微镜设备。特别适用于制造业、精密零件以及不方便移动的物件的观察测量。广泛地应用于生产作业线及科学研究等部门。
数码测量显微镜主要优点:小巧便携,只需一台计算机就可以直观的观测微观放大图像,进行精确数据测量、拍照备份图片及数据资料;还可以根据客户需要定制特种光源(荧光、红外)用于特殊场所观测。数码测量显微镜几年来得到广泛的普及使用,已成为一种可靠实用的精密测量仪器。
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